非球面レンズ研削盤(ナノマシン) N2Cseries | 大型光学レンズに対応

最大加工面積φ1400。大型の非球面レンズの研削加工・ラップ加工が可能な超2精密形状創成加工機(非球面レンズ研削盤)。


 レンズ研削加工の記録を更新中。  世界最大のナノ形状創成加工機。 超2精密形状創成加工機 N2C SERIES

大型の非球面レンズの超鏡面加工、形状創成加工などの加工事例

メータサイズでも、サブミクロンの形状精度。
研削のみで自由曲面をナノオーダで鏡面仕上げ。

■非球面レンズの超鏡面研削加工

硬脆性材料のガラスもナノオーダの品位で鏡面仕上げが可能。
面粗さRa:1nm,Rz7nm。材料:クリアセラム。φ250×50mm。

■シュミット補正板の超鏡面研削加工

国立天文台すばる望遠鏡に採用されているシュミット補正板。
0.2μmの形状精度で自由曲面を創成。
[日本ものづくり大賞内閣総理大臣賞受賞技術]

■30m級天体望遠鏡の分割鏡加工

1000×700の扇型形状の分割鏡加工の様子。
研削のみでrms80nm。磨きユニット搭載でrms2nm以下を達成。

■30m級天体望遠鏡の分割鏡加工

従来の非球面の加工時間を大幅に短縮。
磨きユニットの搭載で形状精度0.15μm以下を達成。

■φ1600mmの非球面レンズ創成加工

メータサイズの非球面レンズも研削のみで超鏡面仕上げが可能。
加工時間の圧倒的な短縮を実現します。



特長

ガラスなどの脆性材料も超鏡面仕上げ。
中〜大型の光学レンズの
生産革新を実現する圧倒的な性能。

1.1nm、10nmのNC指令値に対する
 圧倒的な追従性、繰り返し再現性。
 「転写誤差ゼロ」を目指した
 究極のナノ研削加工機。

砥石軸、X,Y,Z軸などマシンを構成する基本軸の案内面には、長年のナノ加工機開発で徹底的に磨きかれた非接触多面拘束油静圧案内とリニアモータを採用。加工サイズ全領域でサブミクロンの運動特性と繰り返し再現性を達成しています。

2.加工点での剛性、繰り返し再現性を
 発揮する高度なマシン構造。

高脆性材料に対しても1nm、10nm単位の切込みを確実に行える高剛性かる超精密なマシン設計。機械の各ユニットは、可能な限り熱対象構造の原理を取り入れ、長時間の加工及び周辺温度環境の変化なども考慮に入れた高度な設計となっています。

3.世界に類のない超精密なインデックス、
 回転テーブル(OP)。

割出・回転加工に対応した超精密DDインデックステーブル(最小分解能2/100000°)、または超精密ロータリテーブルの搭載が可能です。油静圧案内技術を駆使した回転テーブルでは、重量のあるメータサイズのワーク加工においても抜群の精度を発揮。回転精度はアキシャル方向、ラジアル方向においてもサブミクロンを達成しています。

4.さらなる鏡面の追求を可能にする
「ゆらぎの影響ゼロ」を目指した新設計。

X,Y,Z軸のアクチュエータ駆動方式は、ナガセ独自のリニアモータ駆動方式またはボールネジから選択が可能。超精密リニアモータ駆動方式では高精度・高速な動作を実現。さらに「非接触案内+非接触駆動」により、機械構造に起因する加工面への影響を極小に抑制。かつてないファインな品位を得ることができます。

5.外部摩擦の影響を徹底除去。

ナノマシン専用の高剛性スピンドルと極低振動モータ(独自開発・製造)を採用。さらに回転中の砥石のアンバランスの自動測定・修正ができる「バランスドクター(OP)」、独立基礎でも30nm~50nm程度発生する外部擾乱を抑制するためにアクティブまたはパッシブ型の超精密除振システム「ナノスタビライザー(OP)」の搭載により、「限りなくゼロ」に近い鏡面品位の追求が可能です。

6.複合加工、機上計測にも対応。

砥石加工のほか、小径スピンドルユニットの搭載で超鏡面なミーリング加工、バイトホルダの搭載で超精密な微細加工が可能となります。さらに超鏡面品位を追求したい場合、磨きユニットの搭載が可能。超低振動な特性を有した仕様においては光学干渉計を取りつけての機上での表面形状測定等も可能です。

7.各種の砥石成形装置の搭載が可能。

Wカップツルア、縦・横型のロータリドレッサ、首振りドレッサなどの搭載が可能です。さらにELID研削システムの搭載も可能です。

■φ600サイズのレンズ研削の様子

研削のみで大型の非球面レンズもナノメータの面粗さ、
サブミクロンの形状精度の追求が可能。

■機上測定の様子

超低振動特性仕様のマシンでは機上での表面形状(面粗さ)測定化が可能。

■磨きユニット

よりゼロに近い表面粗さを実現するために開発。
研削面のラップを行うことが可能です。


オプション
唯一無二の加工システムの構築のために
必要な技術、数多くのアイデアがあります。

■各種ドレッサ

マシン上に各種のドレッサの配置が可能です。

■超精密精密周辺温度制御システム「ナノエンヴァイラー」

温度変化による加工機自身や加工ワークの変形を抑制するために、
1/100度または1/1000度単位での周辺環境を温度制御します。

■ミーリング加工ユニット

ミーリング用小径スピンドルの取付により、マイクロレンズアレイ加工をはじめとする各種平面への微細加工や自由曲面などの三次元形状の鏡面切削加工が可能です。

■ダイヤモンドバイトによる導光板の加工

バイトホルダの取付により、単結晶ダイヤモンドバイト等を用いた微細加工機としてもお使い頂けます。平面・自由曲面への微細加工が可能です。



シリーズ

○超精密形状創成加工機 N2C-1300D(OP)

φ1400の加工サイズに対応した大型のナノ研削加工機です。
大型の非球面レンズ(自由曲面)の形状創成が可能。

○超精密形状創成加工機 N2C-158C-S4-PCnc

1500×800の加工サイズに対応し、3軸0.01μm(0.001μm)を達成した超高精度な研削加工機。大物・長尺ワークの超精密非球面・平面・成形加工が可能。


仕様
機種/項目 サイズ テーブル作業面積 テーブル移動量
(左右×前後)
テーブル上面
スピンドルセンター
上下最小単位 前後最小単位 砥石サイズ
(外径×幅×内径)
砥石軸
    mm mm mm mm mm m/min kW
N2C 53 500×300 750×330 450 0.00001
(0.000001)
0.00001
(0.000001)
φ180~255×8~19×φ50.8 2P
104 100×400 1200×440 400 0.00001 0.00001 φ200~355×25~38×φ127 4P
125 1200×500 1500×560 730 0.00001 0.00001 φ250~510×38~50×φ127 6P
156 1500×600 1800×660 1000 0.00001 0.00001 φ250~510×38~50×φ127 6P
158 1500×800 1800×860 1750 0.00001 0.00001 φ250~510×38~50×φ127 6P
1400D φ1400 2000×1000 1800 0.000001 0.000001 φ250~510×38~50×φ127 6P

■内容・仕様等は、予告無く変更することがあります。又、説明の内容や写真はオプション仕様を含んでおりますので、御発注の際には、製作仕様書にて確認下さい。
■当サイトに記載されております機械精度・加工精度は、測定条件や加工条件に依って異なる場合があります。
■詳細は、仕様書等、技術資料をご請求ください。
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