導光盤などの微細加工・プリズム加工 | 微細加工機(ナノマシン)の加工事例2

微細加工機NICseriesによる導光板などの微細加工・プリズム加工・微細パターン加工など事例をご紹介。


導光体、回折格子、レンズアレイ等
の微細パターン形状の加工に最適。

微細加工(微細溝入れ加工)とは、ダイアモンド工具を用いてNiPなどの工作物表面に直線・曲線・ドットなどの周期構造を切削加工すること。代表的なものとして導光板や反射板などのリニア・クロスプリズム加工、フレネルレンズ加工、マイクロレンズアレイ加工等があります。ナガセのナノ加工機は「大面積を加工できる・真直性に優れる・表面粗さが高い」など切削ナノ加工の利点を極限まで発揮できる特長を持ち、幅広い分野で活用されています。



加工サンプル

プリズム加工(1µmクロスカットシート加工)

プリズム高さ:1μm
材質:無電解ニッケルリンメッキ
サイズ:10×10mm 
加工機:NIC-300S5-N3

sin曲線溝加工
(同時3軸1ナノ制御による自由曲線加工)

X-Y-Z軸の同期精度:ナノメータ
振幅:5nm 周期:40nm
ピッチ:200μm
 
材質:無電解ニッケルリンメッキ
サイズ:100×100×10mm 
加工機:NIC-300S5-N5



リニアプリズム加工(プリズムシート加工)

X-Z軸の補間精度:20nm以下 
材質:無電解ニッケルリンメッキ
サイズ:70×45×10mm 
加工機:NIC-300S5-N5

曲線微細溝加工

X-Y-C軸の補間精度:150nm以下※象限突起が見られない
材質:無電解ニッケルリンメッキ
サイズ:70×45×10mm 
加工機:NIC-300S5-N5


フレネルレンズ加工

溝本数:計35,605本
    (R:1,080本 フレネル325本 ロゴ:34,200本)

材質:無電解ニッケルリンメッキ
サイズ:100×50×10mm 
加工機:NIC-300S5-N5

溝幅:117.4μm
溝深さ:27.4μm


マイクロレンズアレイ加工
(大面積・任意形状・高アスペクト)

加工個数:356,130個 
面粗度:ナノオーダ

材質:銅メッキ
サイズ:297×210mm 
加工機:NIC-300S5-N5

ディンプルパターン加工
(ヘソなし・鏡面・高速加工)

面粗度:Ra 2nm,Rz 15nm 
穴径:φ0.5mm 穴深さ:50μm

材質:真鍮
サイズ:φ36×10mm 
加工機:NIC-300S5-N5


超鏡面ミーリング加工
(燃料電池のセパレータ流路)

面粗度:Ra 35nm,Rz 232nm 
コーナ輪郭精度:±1μm

材質:HPM38
サイズ:130×100×20mm 
加工機:NIC-300S5-N5




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