自由曲面への微細加工
微細加工機（ナノマシン）の加工事例1
「転写誤差ゼロ」を追求できるナノ加工機はナガセインテグレックス。微細加工機NICseriesによる自由曲面形状への微細加工（微細溝入れ加工・シェイパー加工）事例をご紹介。
自由曲面レンズや
ミラーなどの
各種光学素子の開発に最適。
自由曲面への微細加工（微細溝加工）とは、工作物の自由曲面上にサブマイクロ〜マイクロメータサイズの周期構造を加工すること。各種の自由曲面レンズやミラーなどの光学素子金型の製作に使用されます。
同時5軸・6軸1ナノ制御の微細加工機NICは自由曲面上に直線のみならずsin曲線などの複雑な周期構造の創成が可能。極限まで熱変位・振動対策を施されたマシンは自由曲面上であっても圧倒的なピッチ精度と品位で微細溝・レンズなどのパターン加工が可能です。
加工サンプル
自由曲面への微細溝入れ加工
（同時6軸1ナノ制御加工）
溝ピッチ精度：1mm±0.5μm（溝深さ：25μm）
面粗度：52nmRa, 260nmRz
材質：アルミ
サイズ：⌀126mm(100R)
加工機：NIC-300αS4B2-N6
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