加工点でサブナノの
切込みを実現
前例のない
次世代型サブナノマシン
精密平面研削盤 SGW/M SERIES
加工点でサブナノの切込みを実現
前例のない次世代型サブナノマシン
超精密非球面加工機NSL-200・280
超精密非球面加工機
NSL-200・28
驚異の機械運動精度と圧倒的な加工点の剛性
理想の平面創成、鏡面品位を追求NSL-200・280
加工点でサブナノの
加工事例
究極の繰り返し再現性、位置決め再現性
異次元のサブナノ加工を実現
SiCレンズ金型の超精密研削加工
レンズ素材(BK7)の超精密研削加工
STAVAX材への三次元形状の加工（楕円振動切削加工）
超精密レンズ金型の切削加工（無電解Ni-P）
2軸を同期した形状の切削加工（無電解Ni-P）
真鍮へのフレネル形状の超精密切削加工
Ni-Pの平面切削加工時の面相度
面粗さ：0.156nmRa
Ni-Pの球面加工時の形状精度
Material:Electroless Ni-P
Form:SR50 convex spherical surface
Size:⌀25mm
形状精度(ベストフィット)：24nm P-V
特長
徹底的に最適化した
3点支持の本体構造
超コンパクトな
超精密加工機
1.研削加工機能を強化した
超精密ナノマシン。
0.3nmという金属原子の直径サイズレベルの切込みを実現。
究極の微細加工
ナノレベルに引き上げられた機械の絶対運動特性により、異次元の微細加工を実現。
2.超高剛性化を実現した
3支持本体構造
NAGASE独自のIGTARP DESIGN®をナノマシンに採用。
本体構造は静的·動的な変形が極小の超高剛性化を実現。
動剛性は従来機比2倍以上。
3.高品位な加工を実現する
機械運動特性
独自の油静圧軸受とDDモータ駆動の組み合わせによる超精密インデックスを搭載。極めてなめらかな機械運動により高品位な加工を実現。
かつてない形状精度を可能にします。
軸構成
4.徹底的な振動対策
理想的な3点支持の除振台により、振動を徹底的に除去。
除振台はアクティブ型とパッシブ型の選択が可能
5.驚きのコンパクトサイズ
二畳半のスペースに収まるコンパクトサイズ。
NSL-200は従来機比1/7(1畳半)、NSL-280は従来機比1/4の省スペース化を実現。
研削仕様
研削スピンドルユニット（OP）を搭載して非球面の研削加工が可能。
切削仕様
バイトホルダ（OP）やミーリングスピンドル（OP）を搭載し超精密な切削加工が可能。
4軸仕様
5軸仕様
Y軸（OP）を追加した5軸仕様も選択可能。
加工の幅がさらに広がります。
温度制御カバー
カバーは足元から上部まで全体を覆い、カバー内は空調制御。
周辺温度の変化に影響を受けにくい。
最適化された周辺機器の配置
静圧油タンクや制御盤などの周辺機器は機械の構造に合わせた最適な配置。
直精度
極小ステップ送り精度
省スペース化 NSL-200
従来ナノマシンとの比較(NAGASE調べ)
省スペース化 NSL-280
従来ナノマシンとの比較(NAGASE調べ)
仕様
| 機種／ 項目 |
サイズ | ワーク サイズ ※1 |
ストローク 前後(Z軸)×左右(X軸) |
ストローク 上下(Y軸) (OP※2) |
Z・X・Y軸 最小設定単位 |
Z・X・Y軸 早送り速度 |
インデックス(B) (OP※3) 最小設定単位 |
ワークスピンドル(C) 最小設定単位 |
ワークスピンドル(C) 最大回転速度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| mm | mm | mm | nm | m/min | °(度) | °(度) | m/min | ||
| NSL | 200 | ⌀200 | 130×220 | 80 | 0.1 | 1 | 0.00001 | 0.00001 | （同期回転モード)200 (連続回転モード)5000 |
| 280 | ⌀280 | 250×280 | 80 | 0.1 | 1 | 0.00001 | 0.00001 | (同期回転モード)200 (連続回転モード)5000 |
※1 工具、加工形状等により制限があります。
※2 上下軸（Y軸）はオプションとなります。
※3 インデックス（B）はオプションとなります。
- 内容・仕様等は、予告無く変更することがあります。また、説明の内容や写真はオプション仕様を含んでおりますので、御発注の際には、製作仕様書にて確認ください。
- 当サイトに記載されております機械精度・加工精度は、測定条件や加工条件に依って異なる場合があります。
- 詳細は、仕様書等、技術資料をご請求ください。
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