導光板などの微細加工
微細加工機（ナノマシン）の加工事例2
「転写誤差ゼロ」を追求できるナノ加工機はナガセインテグレックス。微細加工機NICseriesによる導光板などの微細加工・プリズム加工・微細パターン加工など事例をご紹介。
導光体、回折格子、
レンズアレイ等
の
微細パターン形状の
加工に最適。
微細加工（微細溝入れ加工）とは、ダイアモンド工具を用いてNiPなどの工作物表面に直線・曲線・ドットなどの周期構造を切削加工すること。
代表的なものとして導光板や反射板などのリニア・クロスプリズム加工、フレネルレンズ加工、マイクロレンズアレイ加工等があります。NAGASEのナノ加工機は「大面積を加工できる・真直性に優れる・表面粗さが高い」など切削ナノ加工の利点を極限まで発揮できる特長を持ち、幅広い分野で活用されています。
加工サンプル
sin曲線溝加工
（同時3軸1ナノ制御による自由曲線加工）
X-Y-Z軸の同期精度：ナノメータ
振幅：5nm 周期：40nm
ピッチ：200μm
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：100×100×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
フレネルレンズ金型加工
溝本数：計35,605本
（R：1,080本 フレネル325本 ロゴ：34,200本）
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：100×50×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
溝幅：117.4μm
溝深さ：27.4μm
超鏡面ミーリング加工
（燃料電池のセパレータ流路）
面粗度：35nmRa, 232nmRz
コーナ輪郭精度：±1μm
材質：HPM38
サイズ：130×100×20mm
加工機：NIC-300S5-N5
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