超２精密微細加工機
NIC-74
超２精密微細加工 NIC-74 | 導光盤加工・自由曲面加工に対応
導光板やプリズム加工など世界最高の精度と加工面積。自由曲面への微細加工も可能な1ナノ分解能微細加工機NIC。
自由曲面・平面・ロールへの微細加工、
マイクロレンズアレイなどの加工事例
異次元の微細形状加⼯を実現
○自由曲面上への微細加工（または高度・複雑な自由曲面の創成）
球面への鎖形状の面直切削加工
同時６軸1ナノ制御加工。自由曲面上に工具面直にて多彩な微細加工が可能。
被削材：無電解ニッケルリンメッキ
自由曲面形状の創成加工
長辺R500、短辺R250の自由曲面加工。
面粗さ7.5nmRa, 43.4nmRz。
被削材：STAVAX。楕円振動切削加工
自由曲面上への微細溝加工（自由曲面グレーティング加工）
幅20mmの自由曲面上（ロゴ部）に、深さ1μm、ピッチ2μmの微細溝を10000本創成。
溝ピッチ精度は±0.15μm以内。
被削材：無電解ニッケルリンメッキ
1μmの四角錐加工
微細溝加工における精度は、前後、左右に加工した交点に現れます。１μmの四角錐加工でもシャープな交点を実現しています。
被削材：NiPメッキ
光学シート金型サンプル
（微細V溝加工）
90°Vバイトにて、深さ2μmの溝をピッチ4μmで40125本創成。ワークへの工具転写の結果からX-Z軸の補間精度は20nm程度であることが分かる。
光学シート金型サンプル
（微細V溝sinカーブ加工）
90°Vバイトにて、深さ1μmの溝をピッチ2μmで10000本創成。ワークへの工具転写の結果からX-Y-C軸の補間精度は150nm程度となっている。
○超極小レンズ加工（⌀500μm以下または高アスペクト、広面積なマイクロレンズアレイ加工）
極小レンズ加工
（超極小・高アスペクト比マイクロレンズ加工）
超低振動・恒温制御な独自の加工システムにより⌀50μm〜⌀500μmまでの極小レンズ加工を達成。さらに超高アスペクト比なレンズ加工も可能。
高面積への極小レンズ加工
（A4サイズまでの実績）
高面積へのマイクロレンズアレイ加工が可能。最大35万個の実績。工具磨耗が極小で、超高品位な加工が可能。面粗さ:Ra2.1nm、Rz15.3nm。
特長
目指すは「転写誤差ゼロ」。
マシン精度、繰り返し再現性を極限まで追求。
1. 同時6軸制御で多彩な加工。
直線軸3軸（X、Y、Z）と工具回転・旋回軸（A、B、C）を用い、自由曲面上への超微細形状加工が可能。独自の制御プログラムにより、同時6軸加工に対応。
2.
工作機械の概念を覆す
3点支持の球体構造。
独自のIGTARP DESIGN®により開発された3点支持の球体型本体構造は振動振幅を大幅に低減。従来機と比較して動剛性は2.25倍に向上。3点のアクティブ除振台をベッド内に埋め込む形で配置。
3.
新開発!!
刃先の位置が変化しない
旋回工具軸。
刃先の位置が変化しない旋回工具軸を新開発（特許出願中）。ワークとの干渉が極小で、加工サイズも減少しない、切削速度の減速も防ぐ。楕円振動切削加工やエンドミル等の工具を用いた加工にも対応（OP）。
4.
驚異の繰り返し再現性、
圧倒的な同期運動精度。
全ての軸で非接触油静圧案内を採用。また、全ての直線軸（X、Y、Z）に超精密リニアモータを採用。多彩な加工を高速に、高品位に実現。
加工点での1nmステップ送り
Y軸の真直精度 60nm/470mm
5.
従来機比1/10の
省スペース化・省エネ化。
従来同一加工面積のナノマシンと比較して1/10の省スペース化を実現。消費電力も従来ナノマシンと比較して1/10の省エネ化を実現。
従来機比1/10の省スペース化
※同一加工面積の従来ナノマシンとの比較（NAGASE調べ）
6.
機械精度を維持する
温調カバーリング。
室温変化の影響を受けにくくするために、機械本体を温調カバーリング。0.01℃制御の高精度空調装置でカバー内温度を一定に制御。
○刃先の位置が変化しない新開発の旋回工具軸（特許出願中）
機械本体を温調カバーリング除振台3点支持
オプション
唯一無二の加工システムの構築のために
必要な技術、数多くのアイデアがあります。
専用の楕円振動切削ユニット（OP）
焼入鋼の自由曲面上に単結晶ダイヤモンド工具で超精密切削加工が可能。
多彩なツールオプション
様々な材質へ多彩な加工が可能。
超精密工具形状測定器「ナノアイ」
回転中の工具をサブミクロンの分解能で測定。ツール先端位置や径の自動測定、各種の工具振れ測定が可能です。測定したデータは数値出力・ビジュアル出力にて確認できます（OP)。
非球面加工などに対応した
CAD/CAMソフト「CAP-nano1」」
作業者の技術スキルの依存度を最小化させるための加工支援の数値演算ソフトを充実。また非球面等の関数曲面にも対応でき、関数式入力でCAD/CAMプログラムへの変換も容易に可能（OP）。
仕様
| 機種／項目 | サイズ | チャック寸法 | テーブル作業面積 | ストローク テーブル（Y軸）×クロス（X軸） |
X・Y・Z（上下） 軸最小単位 |
ワーク回転・工具旋回軸 | X軸・Y軸早送り速度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| mm | mm | mm | nm | °（度） | m/min | ||
| NIC | 74 | 700×400 | 700×400 | 720×420 | 1（0.1） | 0.001 | 20 |
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