超精密ロータリーインデックステーブル

超精密ロータリーテーブル・超精密ロータリーインデックス

「超精密研削盤」のナガセインテグレックス。加工面積⌀2700で、サブミクロンの回転精度。ナノ加工にも対応できるロータリーインデックステーブル（割出機能は⌀1300まで）をご紹介。

世界に類のない
精度とサイズの
回転テーブル、割出テーブル。

超精密ロータリーテーブルやインデックステーブルは1nm、10nm単位の表面粗さの追求が必要な光学素子の微細加工や半導体ウェハ製造に対応するために開発された要素技術ユニットです。回転テーブルは⌀2700ものサイズでも面ブレはわずか0.5μm以下。割出テーブルでは1ナノ制御加工機でのsin曲線加工において0.1μm単位で狂いのない加工を達成。
これらを用いて、従来にない超精度の大型ラップ盤や割出研削盤などの開発が数多く行われているのです。

特長

数μmでも精密とされてきた
回転テーブルの精度を
サブミクロンで実現。

≪超精密縦型ロータリーテーブルの特長≫

回転テーブル軸受けにNAGASE独自の「非接触多面拘束油静圧軸受」を採用したロータリー回転テーブルです。
多面拘束構造であるため、大型ワーク加工においてもテーブル面の振れが極少です。また非接触構造であるため、高い回転精度を長期間維持することができます。
従来、大型ロータリーテーブルの回転精度は数μmであったのに対して、⌀2700サイズでラジアル方向0.5μm、スラスト方向0.2μmという驚異的な回転精度を実現。
振動の減衰性のある構造で、外部の擾乱に影響を受けにくく、加工品位の高い加工が可能です。
高い品位とともに、回転精度が高いため、大型ラップ盤では砥粒作用率が高く、能率の高い加工が可能。
X軸・Y軸などとの同期制御が可能で、従来にない大型サイズのロータリー平面研削や非球面レンズ研削盤にも活用されています。

⌀2000サイズのラップ盤での使用例（回転精度1μm以下）

1ナノ分解能の非球面レンズ加工機での使用例

超大型門型複合加工機でのロータリー平面加工の様子

サブミクロン、ナノメータの
加工精度を狙える
超精密割出台。

≪超精密ロータリーインデックステーブルの特長≫

NAGASE独自の構造により、ノンバックラッシ、ノンロストモーションを可能とした高精度なロータリーインデックステーブル。
⌀300～800までのサイズの製作が可能。
弊社各種超精密成形研削盤、微細加工機への搭載によって縦軸または横軸の割出加工や連続回転加工が可能です。
用途に合わせて、割出分解能1/1000°～1/100000°、割出精度±1～0.3秒まで仕様の設定が可能。
連続回転数10min^-1～200min^-1も設定可能。
X軸、Y軸などの複数軸との同期制御を行っての割出加工に対応できます。
縦型だけでなく、横型の大型ロータリーインデックスの製作にも対応（このユニットは弊社の超精密ロール加工機でも使用されています）。
※ユニットを利用したマシンの改良や専用機の開発は弊社営業または営業技術までお問合せください。