超２精密形状創成研削盤
N2C SERIES「限りなきゼロ」を追求するナガセインテグレックスの「ナノマシン」。最大加工面積⌀1400。大型非球面レンズの研削・ポリッシュ加工が可能な超2精密非球面レンズ研削盤。
「限りなきゼロ」を追求するナガセインテグレックスの「ナノマシン」。最大加工面積⌀1400。大型非球面レンズの研削・ポリッシュ加工が可能な超2精密非球面レンズ研削盤。
硬脆性材料のクアセラムもナノオーダの品位で鏡面仕上げが可能。
面粗さ1nmRa, 7nmRz。
材料:クリアセラム。⌀250×50mm。
国立天文台すばる望遠鏡に採用されているシュミット補正板。
0.2μmの形状精度で自由曲面を創成。
［日本ものづくり大賞内閣総理大臣賞受賞技術］
1000×700の扇型形状の分割鏡加工の様子。
研削のみでrms80nm。
磨きユニット搭載でrms2nm以下を達成。
従来の非球面の加工時間を大幅に短縮。
磨きユニットの搭載で形状精度0.15μm以下を達成。
メータサイズの非球面ミラーも研削のみで超鏡面仕上げが可能。
加工時間の圧倒的な短縮を実現します。
砥石軸、X,Y,Z軸などマシンを構成する基本軸の案内面には、長年のナノ加工機開発で徹底的に磨かれた非接触多面拘束油静圧案内とリニアモータを採用。加工サイズ全領域でサブミクロンの運動特性と繰り返し再現性を達成しています。
高脆性材料に対しても1nm、10nm単位の切込みを確実に行える高剛性かつ超精密なマシン設計。機械の各ユニットは、可能な限り熱対象構造の原理を取り入れ、長時間の加工及び周辺温度環境の変化なども考慮に入れた高度な設計となっています。
割出・回転加工に対応した超精密DDインデックステーブル（最小分解能2/100000°）、または超精密ロータリテーブルの搭載が可能です。油静圧案内技術を駆使した回転テーブルでは、重量のあるメータサイズのワーク加工においても抜群の精度を発揮。回転精度はアキシャル方向、ラジアル方向においてもサブミクロンを達成しています。
研削のみで大型の非球面ミラーもナノメータの面粗さ、サブミクロンの形状精度の追求が可能
X,Y,Z軸のアクチュエータ駆動方式は、NAGASE独自のリニアモータ駆動方式またはボールネジから選択が可能。超精密リニアモータ駆動方式では高精度・高速な動作を実現。さらに「非接触案内＋非接触駆動」により、機械構造に起因する加工面への影響を極小に抑制。かつてないファインな品位を得ることができます。
超低振動特性仕様のマシンでは機上での表面形状（面粗さ）測定化が可能。
ナノマシン専用の高剛性スピンドルと極低振動モータ（独自開発・製造）を採用。さらに回転中の砥石のアンバランスの自動測定・修正ができる「バランスドクター（OP）」、独立基礎でも30nm〜50nm程度発生する外部擾乱を抑制するためにアクティブまたはパッシブ型の超精密除振システム「ナノスタビライザー（OP)」の搭載により、「限りなくゼロ」に近い鏡面品位の追求が可能です。
砥石加工のほか、小径スピンドルユニットの搭載で超鏡面なミーリング加工、バイトホルダの搭載で超精密な微細加工が可能となります。さらに超鏡面品位を追求したい場合、磨きユニットの搭載が可能。超低振動な特性を有した仕様においては光学干渉計を取りつけての機上での表面形状測定等も可能です。
よりゼロに近い表面粗さを実現するために開発。
研削面のラップを行うことが可能です。
Wカップツルア、縦・横型のロータリドレッサ、首振りドレッサなどの搭載が可能です。
マシン上に各種のドレッサの配置が可能です。
温度変化による加工機自身や加工ワークの変形を抑制するために、1/100度または1/1000度単位での周辺環境を温度制御します。
ミーリング用小径スピンドルの取付により、マイクロレンズアレイ加工をはじめとする各種平面への微細加工や自由曲面などの三次元形状の鏡面切削加工が可能です。
バイトホルダの取付により、単結晶ダイヤモンドバイト等を用いた微細加工機としてもお使い頂けます。平面・自由曲面への微細加工が可能です。
⌀1400の加工サイズに対応した大型のナノ研削加工機です。 大型の非球面レンズ（自由曲面）の形状創成が可能。
1500×800の加工サイズに対応し、3軸0.01μm(0.001μm)を達成した超高精度な研削加工機。大物・長尺ワークの超精密非球面・平面・成形加工が可能。
| 機種／項目 | サイズ | テーブル作業面積 | テーブル移動量 （左右×前後） |
テーブル上面 スピンドルセンター |
上下最小単位 | 前後最小単位 | 砥石サイズ （外径×幅×内径） |
砥石軸 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| mm | mm | mm | mm | mm | m/min | kW | ||
| N2C | 53 | 500×300 | 750×330 | 450 | 0.00001 (0.000001) |
0.00001 （0.000001） |
⌀180〜255×8〜19×⌀50.8 | 2P |
| 104 | 100×400 | 1200×440 | 400 | 0.00001 | 0.00001 | ⌀200〜355×25〜38×⌀127 | 4P | |
| 125 | 1200×500 | 1500×560 | 730 | 0.00001 | 0.00001 | ⌀250〜510×38〜50×⌀127 | 6P | |
| 156 | 1500×600 | 1800×660 | 1000 | 0.00001 | 0.00001 | ⌀250〜510×38〜50×⌀127 | 6P | |
| 158 | 1500×800 | 1800×860 | 1750 | 0.00001 | 0.00001 | ⌀250〜510×38〜50×⌀127 | 6P | |
| 1400D | ⌀1400 | 2000×1000 | 1800 | 0.000001 | 0.000001 | ⌀250〜510×38〜50×⌀127 | 6P |
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また設備をご検討のお客様には、テスト加工や工場見学をおこなっております。
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